股民提問(wèn)華微電子:公司此前獲得發(fā)明專(zhuān)利授權“傳片系統及光刻機”具體應用于光刻機什么部件?
來(lái)源:中國財富通 ? 2023-09-12 10:04:26
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9月11日,有投資者在股民留言板中向華微電子(600360)提問(wèn):據公司官網(wǎng)介紹,貴司于2021年4月6日獲得發(fā)明專(zhuān)利授權“傳片系統及光刻機”,請問(wèn)該專(zhuān)利具體應用于光刻機什么部件?是否屬于國產(chǎn)替代突破?
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